弊社では、パッケージ技術の耐久性と信頼性に重要性をおいて、受託検査を実施しております。
その中でも幾つかの検査方法についてご紹介いたします。


◎　非破壊検査、加圧試験

被検査物を加圧チャンバー内でヘリュウムガスを圧入した後、一定時間保持。その後取り出しヘリュウムリークディテクター付属のテストチャンバー内に入れ、リーク量（漏れ量）を測定し評価します。
（評価対象物：IC、トランジスタ、ダイオード、各種センサ、ジョイント部品等）

◎　非密封物及び破壊検査

被検査物をヘリュウムリークディテクタのジグに取り付け、接合部及び接着部等に直接ヘリュウムガスを吹き付け（或いはワーク全体を被い）リーク量を測定し評価します。
（評価対象物：IC、トランジスタ、ダイオード、各種センサ、ジョイント部品等）

リーク試験機材

◎　ヘリュウム加圧装置

ヘリュウムリーク試験用ヘリュウムガス加圧装置（ボンビング装置）で、被検査物を真空、加圧、大気導入のサイクルを自動運転します。
加圧装置容器は内径１２５φ、２００φ、３００φの３種類

　　

◎　グロスリーク検査（前処理無し）

被検査物を１２５度Ｃに加熱保持された不活性液体に入れ、不具合箇所から発生する気泡を目視により確認し、発生箇所の位置特定も同時に検査できます。
（評価対象物：IC、トランジスタ、ダイオード、各種センサ）

◎　グロスリーク検査（前処理加圧）

被検査物を不活性液体加圧チャンバーに入れ、任意時間加圧保持し、取り出し、次に沸点の異なる不活性液体で１２５度Ｃに加熱保持された液槽内に入れ、不具合箇所から発生する気泡を目視により確認し、発生箇所の位置特定も同時に検査できます。
前処理なしの試験よりも、より小さな漏れを検査できます。
（評価対象物：IC、トランジスタ、ダイオード、各種センサ）

◎　グロスリーク検査機（バブル試験器）

不活性液体を１２５℃まで加熱保持可能な強化ガラス液槽です。
両横から調光式光源を装備しており、この装置で、泡（バブル）の位置を目視で容易に確認できます。

　フロロカーボン加圧装置

グロスリーク検査機（バブル試験器）の前処理機で、被検査物を真空にし、次に不活性液体（フロロカーボン）に浸し、加圧、大気導入の各サイクルを自動運転で行います。
加圧装置容器は内径２５０φ